擦拭材料中液体颗粒计数器检测方法
1.液体颗粒计数和颗粒尺寸分级的几种选择。光学显微镜和电子扫描显微镜的结合使用,可将颗粒分成粒径<5μm,5~100μm,粒径>100μm三个等级。该方法的检测限由过滤器孔径决定。普洛帝擦拭布液体颗粒计数器检测,基于设备型号,模型和传感器,通常将颗粒分为粒径<20μm和20-100μm(见提示)。大多数普洛帝擦拭布液体颗粒计数器能捕获传感器高低检测限之间的大量阈值间。普洛帝擦拭布液体颗粒计数器的传感器决定了检测限。所有粒径大于100μm的颗粒和纤维需用显微镜计数。
不同型号普洛帝擦拭布液体颗粒计数器提供了粒径检测范围广泛的传感器。通常,粒径<20μm和>20μm 的颗粒计数,至少需两种传感器。传感器检测尺寸范围和上下限会随厂商和型号发生改变,两种常用传感器的检测范围。
2.液体颗粒计数器(粒径<100μm)a)设备
2.1检测域为.1)0.5-20μm的液体颗粒计数器
2)检测域为20-100μm的附加传感器
3)过程
普洛帝擦拭布液体颗粒计数器适合粒径<100μm的液体颗粒的顺序计数。普洛帝擦拭布液体颗粒计数器可直接由样品制备液得到结果,无需过滤。普洛帝擦拭布液体颗粒计数器使用不同传感器计数不同尺寸范围颗粒。通常,粒径<100。
2.2.颗粒尺寸和枚举技术μm的颗粒计数,至少需两种不同传感器。每个传感器均需操作以下过程。每种粒径范围,系统空白和样品都需检测。所有的试验需在ISO 5级在0.5μm的或更洁净的工作台环境操作。
1)使用普洛帝擦拭布液体颗粒计数器液体进样系统,连续取三份等量样品,计算每份样品的颗粒数。记录结果,轻轻摇动样品每份样品。
2)平行样品数值应不超过15%。如果超出,用去离子水冲洗计数器并重复步骤1直到差值变小。
3)基于空白和样品的颗粒浓度,平行样品数量,水的体积,擦拭布面积,计算每平方米擦拭布释放的颗粒数。计算举例:
第一份空白,cl ;82颗粒/ml。第二份空白,c2;72颗粒/ml。第三份空白,c3 ;76 颗粒/ml。水体积:600ml。
第一份样品,C1;4300颗粒/ml。第二份样品,C2;4800颗粒/ml。第三份样品,C3;4500颗粒/ml。擦拭布体积Aw:240mm×230mm
颗粒/m2擦拭布=【(C1 +C2 +C3)/3-(cl +c2 +c3)/3】×V/Aw =48×106(2)
2.3用正确的方式记录结果,单位面积内20-100μm,和<20μm的颗粒数均需记录。粒径<20μm的检测限由检测需要和设备性能决定。检测至少重复三次,计算并记录样品的平均值及标准方差。
关于电子半导体行业液体颗粒计数器的工作原理:光刻胶液体颗粒计数器采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器,双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统,可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析。
普洛帝PMT-2液体颗粒计数器就是专门针对高纯化学品颗粒管控研发而成的。也在实际应用中对客户的产线控制起到了重要作用。
2020年12月3日,英国普洛帝分析测试集团第九代颗粒检测核心技术创新发布,第九代双激光窄光检测器(PCF-9C)技术可实现Windows 10、IOS 和 Android多个系统,无缝衔接至各个操作屏控,24H不间断提供各类标准查新、文献查询、方法应用查找、历史数据诊断分析、智能控制报警、用户权限管控、审计追踪和电子记录。